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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:單靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH270-I-RF-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
本單靶磁控濺射鍍膜儀配有一套磁控靶、一套300W的RF濺射電源(或一套500W的直流濺射電源或一套100W的偏壓電源)。單靶磁控濺射鍍膜儀在鍍膜時(shí),可根據(jù)需要分別手工連接至直流濺射電源、偏壓電源及RF濺射電源。還可根據(jù)客戶需要配置可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、加熱型樣品臺(tái)、多功能樣品臺(tái),整機(jī)性價(jià)比高,是制作各種金屬(或非金屬)薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空系統(tǒng)。我公司還可根據(jù)客戶具體需要定制單靶磁控濺射鍍膜儀。
詳情介紹:

本單靶磁控濺射鍍膜儀配有一套磁控靶、一套300W的RF濺射電源(或一套500W的直流濺射電源或一套100W的偏壓電源)。鍍膜時(shí),可根據(jù)需要分別手工連接至直流濺射電源、偏壓電源及RF濺射電源。還可根據(jù)客戶需要配置可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、加熱型樣品臺(tái)、多功能樣品臺(tái),整機(jī)性價(jià)比高,是制作各種金屬(或非金屬)薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH270-I-RF-Q

供電電壓

AC220V50Hz

整機(jī)功率

3KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺(tái)

尺寸

150mm

加熱溫度

500

旋轉(zhuǎn)速度

1-20r/min

控溫精度

±1

磁控濺射頭

數(shù)量

2英寸 x1

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

φ270mm X 200mm

觀察窗口

全向可視

開啟方式

頂蓋拆卸式

腔體材料

高純石英

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

CY240

抽氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s

分子泵

CY600

抽氣接口

KF40

抽氣速率

600L/s

排氣接口

KF40

真空測量

電阻規(guī)+電離規(guī)

供電電源

AC;220V 50/60Hz

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

電源配置

直流電源數(shù)量

1臺(tái)

輸出功率

500W

輸出電壓

600V

響應(yīng)時(shí)間

5ms

射頻電源數(shù)量

1臺(tái)

輸出功率

1000W

功率穩(wěn)定度

5W

測量精度

±0.5%

測量速度

100~1000ms

測量上限

50000


1、有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度,需要多次濺射鍍膜。在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請?jiān)跒R射前用超聲波清洗基材表面。

2、基材清洗方式

(1)丙酮超聲清洗→異丙醇超聲清洗去除油脂→吹氮?dú)飧稍铩婵蘸嫦涑ニ?/span>

(2)等離子清洗:可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力此濺射鍍膜機(jī)可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射。

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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