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1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì)，可以混合1~3路氣體，較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面，可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)
真
空
管
式
爐
產(chǎn)品型號
CY-CVD1200-50-400-3TH-Q
爐管材質(zhì)
高純石英
爐管直徑
50mm（可選配60mm、80mm、100mm）
爐管長度
800mm
爐膛長度
440mm
加熱區(qū)長
400mm
恒溫區(qū)長
200mm
工作溫度
0～1100℃
控溫精度
±1℃
控溫模式
30段或50段程序控溫
顯示模式
LCD
密封方式
304不銹鋼真空法蘭
法蘭接口
1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
可抽真空
4.4E-3Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
供
氣
系
統(tǒng)
產(chǎn)品型號
CY-3F
氣體通道
3通道
測量部件
氣體浮子流量計(jì)
測量量程
A通道：0～100ml/min H2氣
備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。
B通道：16～160ml/min N2氣
C通道：25～250ml/min Ar氣
測量精度
±2.0%
管道耐壓
3MPa
工作壓差
50～300KPa
連接管道
304不銹鋼
控制閥門
304不銹鋼針閥
接口規(guī)格
進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
排
氣
系
統(tǒng)
機(jī)械泵
旋片泵
抽氣速率
1.1L/S
排氣接口
KF16
真空測量
電阻規(guī)
極限真空
1.0E-1Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
抽氣接口
KF16
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