<dd id="t7ef7"><tt id="t7ef7"></tt></dd>
<dd id="t7ef7"></dd>
<sup id="t7ef7"><pre id="t7ef7"></pre></sup>
<noscript id="t7ef7"></noscript>
<dd id="t7ef7"></dd>
<dd id="t7ef7"><xmp id="t7ef7">

產品詳情
所在位置: 首頁> 產品目錄> 培育鉆石>
  • 產品名稱:熱絲化學氣相沉積(HFCVD)金剛石涂層設備

  • 產品型號:CY-HFCVD400-30KW
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹:
熱絲化學氣相沉積(Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)擁有工藝成熟,設備簡單等諸多優點,是工業上應用*多的金剛石薄膜制備方法之一。設計用于合成納米金剛石涂層,CVD金剛石薄膜,微晶CVD金剛石涂層,石墨烯,碳納米管(CNTs)和各種其他薄膜涂層
詳情介紹:
熱絲化學氣相沉積(Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)擁有工藝成熟,設備簡單等諸多優點,是工業上應用*多的金剛石薄膜制備方法之一。設計用于合成納米金剛石涂層,CVD金剛石薄膜,微晶CVD金剛石涂層,石墨烯,碳納米管(CNTs)和各種其他薄膜涂層。金剛石作為所有已知材料中*硬的物質,還有用高熱導率,高彈性模量,良好的耐磨性,耐腐蝕性,較低的摩擦系數和化學穩定性,是切削的優良材料。本設備包括反應腔室、支撐系統、水路系統、氣路系統以及自動化控制系統等。設備結構緊湊,布局合理,經由多年設備研發的工程師團隊,反復推敲,多次實驗,結合計算機輔助設計系統無數次校核、驗證。使設備具有優良的沉積性能及可靠的**性。本產品具有節能,可靠,方便,智能化為一體的優良設備。

熱絲化學氣相沉積產品特點:

本產品為雙層不銹鋼腔體式結構,結構緊湊合理;
本產品分上臺架和下臺架兩大部分,下臺架除了用于支撐反應腔室,還布置氣路閥門,水路管道以及各種控制元件。上臺架布置顯示面板,電源器件,合理屏蔽電路干擾;
本產品**分散冷卻水道布局(腔體上蓋,腔體主體上下層和底板,以及熱絲彈力裝置等地方)。水泵,水管,智能監控流量計,水路歧管等,均為封閉式循環系統。
本產品氣路組合主要由工藝氣體供給系統以及真空系統,氣路管道的合理分布,有效利用可使用的空間,氣體流量,壓力的實時監測及**控制。
本產品選用雙基片式真空泵,抽氣速度穩定在65m3/h.極限優良真空全壓為0.5Pa,防護的等級為IP54.

熱絲化學氣相沉積技術指標與特性:

真空腔室

結構:圓筒形+上蓋

材質:304上等不銹鋼

腔體尺寸:Φ640x320mm

電源:

AC220V /三相380V 30KW

控溫

低壓和大電流直流電源,熱絲溫度*高可達2500°C  

沉積基體表面:600℃左右

腔體壁溫度: <60

控溫精度:0.1 

測溫系統

遠紅外光學測溫+熱電偶監測

熱絲裝置:

恒定張力陣列幾何形狀,鉬絲,銅饋通,鎢絲結合處理,方便調整與維護

觀察窗

主觀察窗φ190mm 輔觀察窗φ45mm

水路系統

水冷電極、水冷腔體、水冷熱絲輔助部件

總水管接口尺寸 40mm

冷卻水流量:60L/MIN

真空系統

雙基旋片泵+高真空閥門組合(**閥,流量感應器,調節閥……) ,數顯復合真空計,

*大抽氣速度:65 m3/h

設備保壓:停泵 12 小時候后,真空≤10Pa

抽氣接口 CF40    排氣接口KF16

操作系統:

PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統;

**系統

報警及保護:對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施;完善 的邏輯程序互鎖保護系統;

占地尺寸

(主機)L1800×W1150×H1550(mm)

整機重量

600kg


 

豫公網安備 41019702002438號

26uuu久久五月天| 久久久久久久久66精品片| 99久久精品费精品国产一区二区| 久久精品国产亚洲AV无码偷窥| 久久久一本精品99久久精品66| 久久久久久久综合日本亚洲| 久久久久国产亚洲AV麻豆| 四虎国产精品成人免费久久| 狠狠狠色丁香婷婷综合久久五月| 国产精品久久久天天影视香蕉| 中文字幕无码久久精品青草| 久久91亚洲人成电影网站| 久久婷婷五月综合97色直播| 青草影院天堂男人久久| 久久99久久99精品免视看动漫 | 人妻精品久久无码专区精东影业| 一级a性色生活片久久无| 欧美黑人激情性久久| 国内精品久久久久久久coent | 欧洲性大片xxxxx久久久| 18岁日韩内射颜射午夜久久成人| 欧美综合天天夜夜久久| 久久久久亚洲av无码专区| 欧美精品九九99久久在观看| 97久久精品无码一区二区天美| 精品国产乱码久久久久久呢| 久久露脸国产精品| 久久久久久a亚洲欧洲aⅴ| 久久人人爽人人爽人人AV东京热 | 国产精品99久久99久久久| 亚洲精品综合久久| 久久无码AV中文出轨人妻| 精品久久777| 麻豆精品久久精品色综合| 九九精品99久久久香蕉| 久久久久久亚洲Av无码精品专口| 亚洲AV无码久久| 国产午夜福利精品久久2021| 久久人人妻人人爽人人爽| 久久天天躁狠狠躁夜夜96流白浆 | 九九久久自然熟的香蕉图片|